AFM 탐침 특성평가용 인증표준물질 KRC-ATC-200
AFM 탐침 특성평가용 인증표준물질 KRC-ATC-200
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KRC-ATC-200 개요
- 원자힘현미경 탐침 특성평가용 인증표준물질(AFM Tip Characterizer)은 여러 개의 인증된 트렌치 너비를 갖는 나노구조체로
AFM 측정 전에 미리 스캔하여 사용된 탐침의 곡률 반경(radius)과 경사각(cone angle) 등 탐침의 뾰족한 정도를 빠르게 점검하기
위한 표준물질이다. - KRC-ATC-200은 트렌치 너비가 50 ~ 200 nm 사이에서 순차적으로 증가되는 3개의 트렌치가 순차적으로 배치된 나노구조체
표준물질로 일반적인 탐침의 특성 평가에 활용된다.
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KRC-ATC-200 주요 사양
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항 목 세부 사양 트렌치 너비 50 nm, 100 nm, 200 nm (불확도 : 0.5 nm - 2.0 nm) 패턴 선폭 50 nm (인증되지 않음) 트렌치 단차 100 nm (인증되지 않음) 패턴 길이 4.0 mm (인증 영역 : 중앙 3.0 mm ) 표면거칠기(Rq) 0.5 nm 이하 패턴 결함율 2% 이하 ( 3000 um 인증 영역 중 60 um 이하) 소급성 TEM 측정 실리콘 격자 상수 기준 인증 - KOLAS 인정
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SEM 이미지 및 AFM 선형분포도
- 나노패턴 구조
- 원형 쿠폰형 시편
KRC-ATC-200
KRC-ATC-200P [CC-X]