AFM 탐침 특성평가용 인증표준물질 KRC-ATC-300

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AFM 탐침 특성평가용 인증표준물질 KRC-ATC-300

    KRC-ATC-300 개요
  • 원자힘현미경 탐침 특성평가용 인증표준물질(AFM Tip Characterizer)은 여러 개의 인증된 트렌치 너비를 갖는 나노구조체로 AFM 측정
    전에 미리 스캔하여 사용된 탐침의 곡률 반경(radius)과 경사각(cone angle) 등 탐침의 뾰족한 정도를 빠르게 점검하기 위한 표준물질이다.
  • KRC-ATC-300은 한 편에는 트렌치 너비가 10 ~ 50 nm 사이에서 순차적으로 증가되는 10개의 트렌치가 배치되고 다른 한 편에는 너비가
    50 nm인 CD선이 독립적으로 배치된 나노구조체 표준물질로 뾰족한 탐침의 특성 평가에 활용된다.
    KRC-ATC-300 주요 사양
  • 항 목 세부 사양
    트렌치 너비 10 nm, 13 nm, 16 nm, 19 nm, 22 nm, 26 nm, 30 nm, 35 nm, 40 nm, 50 nm
    패턴 선폭 50 nm
    트렌치 단차 100 nm (인증되지 않음)
    패턴 길이 4.0 mm (인증 영역 : 중앙 3.0 mm )
    표면거칠기(Rq) 0.5 nm 이하
    패턴 결함율 2% 이하 ( 3000 um 인증 영역 중 60 um 이하)
    소급성 TEM 측정 실리콘 격자 상수 기준 인증 - KOLAS 인정
    SEM 이미지 및 AFM 선형분포도
  • 나노패턴 구조

    • KRC-ATC-300

  • 원형 쿠폰형 시편

    • KRC-ATC-300P [CC-X]

  • 웨이퍼형 시편

    • KRC-ATC-300P [W-X]