정전기력현미경 특성평가용 표준물질 KRC-EFM-100

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정전기력현미경 특성평가용 표준물질 KRC-EFM-100

    KRC-EFM-100 개요
  • 정전기력현미경 특성평가용 표준물질(EFM Characterizer)은 정전기력현미경 (Electrostatic Force Microscope)이 정상적으로
    작동되는지를 확인하기 위한 표준물질이다.
    • KRC-EFM-100을 이용하여 대전된 AFM 팁과 샘플의 표면 사이의 정전기력을 측정하고 시료 표면의 전위차 외 유전 특성을
    확인할 수 있으며 나노 스케일 수준에서 샘플을 이미징하고 특성값을 확인하는데 사용할 수 있다.
    KRC-EFM-100 주요 사양
  • 항 목 세부 사양
    패턴 선폭 2.5 um
    패턴 피치 6.0 um
    패턴 단차 30 nm
    전극 재료 Gold
정전기력 측정 방법

    • Bias구간

    • Ground구간

    • EFM Quad 측정 이미지

  • 패턴 구조

    • KRC-EFM-100

  • 사각 쿠폰형 시편

    • KRC-EFM-100P [RC-X]