주사 정전용량 측정용 표준물질 KRC-SCM-100
주사 정전용량 측정용 표준물질 KRC-SCM-100
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KRC-SCM-100 개요
- 주사정전용량현미경 특성 평가용 표준물질(SCM Characterizer)은 나노미터 수준의 전기적 특성과 시료 표면의 전기용량을 측정하는
주사정전용량현미경 (Scanning Capacitance Microscope)의 동작 특성을 검증하는 표준물질이다. - KRC-SCM-100을 이용하여 전압이 인가된 AFM 팁과 시료의 표면 사이의 전압 차이를 측정하여 시료의 전하 분포를 확인할 수 있으며
나노 크기 수준의 고해상도에서 시료를 영상화하고 특성값을 확인하는데 사용할 수 있다.
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KRC-SCM-100 주요 사양
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항 목 세부 사양 패턴 선폭 3 um 선폭 패턴 피치 5 um 피치 패턴 단차 15nm 도핑 형태 N형 도핑 물질/P형 실리콘 웨이퍼
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주사 정전용량 측정 결과
- 패턴 구조
- 원형 쿠폰형 시편
KRC-SCM-100
KRC-SCM-100P [CC-X]