SSRM 특성평가용 인증표준물질 KRC-SSRM-100
SSRM 특성평가용 인증표준물질 KRC-SSRM-100
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SSRM 특성평가용 인증표준물질 KRC-SSRM-100
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주사확산저항현미경(Scanning Spreading Resistance Microscope: SSRM) 특 성평가용 인증표준물질은 여러 개의 인증된 활성화
도핑층의 너비를 갖는 나노구조체로서 SSRM의 작동 여부를 점검하고 SSRM의 공간분해능을 평가하기 위한 인증표준물질이다. - KRC-SSRM-100은 활성화 도핑층 너비가 5 ~ 40 nm인 4개의 도핑층이 순차적으로 배열된 나노구조체 표준물질로 SSRM 공간분해능
평가에 활용된다.
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KRC-SSRM-100 주요 사양
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항 목 세부 사양 활성층 너비 5 nm, 10 nm, 15 nm, 20 nm, 40 nm 패턴 길이 4.0 mm (인증 영역 : 중앙 3.0 mm ) 표면거칠기(Rq) 0.5 nm 이하 패턴 결함율 2% 이하 ( 3,000 um 인증 영역 중 60 um 이하) 소급성 TEM 측정 실리콘 격자 상수 기준 인증 - KOLAS 인정
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TEM 이미지 및 SSRM 선형분포도
- 나노패턴 구조
- 원형 쿠폰형 시편
KRC-SSRM-100
KRC-SSRM-100P [CC-X]