RBS 에너지 교정용 박막 KRC-RBS-100
RBS 에너지 교정용 박막 KRC-RBS-100
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KRC-RBS-100 개요
- RBS 에너지 교정(RBS Energy Calibration)용 박막 표준물질은 Rutherford Backscattering Spectroscopy(RBS)에 의해
질량이 완전히 분리되는 4종 원소로 이루어진 산화막으로서 산란된 이온의 에너지를 이론적인 값과 비교하여 에너지 스케일을 교정하는
표준물질이다. - KRC-RBS-100은 RBS에 의해 질량이 완전히 분리되는 O, Si, Ti 및 Ta으로 이루어진 화합물 박막을 DLC/Si(100) 기판 위에 성장시킨
것으로 측정된 산란 이온의 에너지를 이론적인 값과 비교하여 에너지 스케일을 교정한다.
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KRC-RBS-100 주요 사양
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항 목 세부 사양 물질 TaTiSiOx 두께 100 nm 기판 Si(100) 시편 크기 10 mm x 10 mm x 0.65 mm 인증방법 RBS
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MEIS 스펙트럼
- 시편 구조
- 제품로고
(10 x 10 x 0.65 mm)
KRC-RBS-100