표면 조성분석용 합금박막 KRC-SCA-PtNi

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표면 조성분석용 합금박막 KRC-SCA-PtNi

    KRC-SCA-PtNi 개요
  • 표면 조성분석용 (Surface Composition Analysis: SCA) 합금박막 표준물질은 XPS, AES 및 SIMS 등 표면분석법에 의한
    합금박박 조성 분석 시에 발생하는 매질효과 및 스퍼터링 효과를 보정하기 위한 표준물질이다.
  • KRC-SCA-PtNi은 PtxNi1-x(x=0.20, 0.35, 0.50, 0.65, 0.80) 박막 조성분석용 표준물질로 유사한 조성의 PtNi 합금박막을
    정량분석하기 위한 상대감도인자 결정에 활용될 수 있다. 또는 5개 시편에 의한 다중점교정(multiple point calibration)에 의한 조성분석에 활용된다.
    KRC-SCA-PtNi 주요 사양
  • 항 목 세부 사양
    명목 상대 조성 20, 35, 50, 65, 80 at%
    두께 100 nm
    기판 Si(100)
    시편 크기 10 mm x 10 mm x 0.65 mm
    소급성 ID ICP-MS
    RBS 스펙트럼
  • 시편 구조

    • (10 x 10 x 0.65 mm)

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